DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication

  1. Gómez-Martínez, R.
  2. Sánchez, A.
  3. Duch, M.
  4. Esteve, J.
  5. Plaza, J.A.
Actes:
Procedia Chemistry

ISSN: 1876-6196

Any de publicació: 2009

Volum: 1

Número: 1

Pàgines: 800-803

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/J.PROCHE.2009.07.199 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor
Font de les dades: Scopus