DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication

  1. Gómez-Martínez, R.
  2. Sánchez, A.
  3. Duch, M.
  4. Esteve, J.
  5. Plaza, J.A.
Aktak:
Procedia Chemistry

ISSN: 1876-6196

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 1

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 800-803

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/J.PROCHE.2009.07.199 GOOGLE SCHOLAR lock_openSarbide irekia editor
Datuen iturria: Scopus