DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication

  1. Gómez-Martínez, R.
  2. Sánchez, A.
  3. Duch, M.
  4. Esteve, J.
  5. Plaza, J.A.
Konferenzberichte:
Procedia Chemistry

ISSN: 1876-6196

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 1

Nummer: 1

Seiten: 800-803

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.PROCHE.2009.07.199 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor
Datenquelle: Scopus