DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication
- Gómez-Martínez, R.
- Sánchez, A.
- Duch, M.
- Esteve, J.
- Plaza, J.A.
ISSN: 1876-6196
Ano de publicación: 2009
Volume: 1
Número: 1
Páxinas: 800-803
Tipo: Achega congreso
ISSN: 1876-6196
Ano de publicación: 2009
Volume: 1
Número: 1
Páxinas: 800-803
Tipo: Achega congreso