DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication

  1. Gómez-Martínez, R.
  2. Sánchez, A.
  3. Duch, M.
  4. Esteve, J.
  5. Plaza, J.A.
Actes de conférence:
Procedia Chemistry

ISSN: 1876-6196

Année de publication: 2009

Volumen: 1

Número: 1

Pages: 800-803

Type: Communication dans un congrès

DOI: 10.1016/J.PROCHE.2009.07.199 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccès ouvert editor
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