Influence of the deposition parameters on the bonding and optical properties of SiNx ECR films

  1. Garcia, S.
  2. Martin, J.M.
  3. Martil, I.
  4. Fernandez, M.
  5. Iborra, E.
  6. Gonzalez-Diaz, G.
Revista:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Any de publicació: 1995

Volum: 187

Pàgines: 329-333

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0022-3093(95)00159-X GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus