Influence of the deposition parameters on the bonding and optical properties of SiNx ECR films
- Garcia, S.
- Martin, J.M.
- Martil, I.
- Fernandez, M.
- Iborra, E.
- Gonzalez-Diaz, G.
Aldizkaria:
Journal of Non-Crystalline Solids
ISSN: 0022-3093
Argitalpen urtea: 1995
Alea: 187
Orrialdeak: 329-333
Mota: Artikulua