Influence of the deposition parameters on the bonding and optical properties of SiNx ECR films

  1. Garcia, S.
  2. Martin, J.M.
  3. Martil, I.
  4. Fernandez, M.
  5. Iborra, E.
  6. Gonzalez-Diaz, G.
Revista:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Ano de publicación: 1995

Volume: 187

Páxinas: 329-333

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0022-3093(95)00159-X GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus