Influence of the deposition parameters on the bonding and optical properties of SiNx ECR films

  1. Garcia, S.
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Zeitschrift:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 187

Seiten: 329-333

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0022-3093(95)00159-X GOOGLE SCHOLAR