Compositional analysis of SiOxNy:H films by heavy-ion ERDA: The problem of radiation damage

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Zeitschrift:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Datum der Publikation: 2002

Ausgabe: 34

Nummer: 1

Seiten: 749-753

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1002/SIA.1403 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus