Compositional analysis of SiOxNy:H films by heavy-ion ERDA: The problem of radiation damage

  1. Bohne, W.
  2. Fuhs, W.
  3. Röhrich, J.
  4. Selle, B.
  5. Sieber, I.
  6. Del Prado, A.
  7. San Andrés, E.
  8. Mártil, I.
  9. González-Díaz, G.
Aldizkaria:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 34

Zenbakia: 1

Orrialdeak: 749-753

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1002/SIA.1403 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus