Buried silicon dioxide formation in a precursor nanocavity layer in Si

  1. Van Veen, A.
  2. Rivera, A.
  3. Schut, H.
  4. Van Gog, H.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2004

Volumen: 216

Número: 1-4

Páginas: 264-268

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.NIMB.2003.11.044 GOOGLE SCHOLAR
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