Low temperature epitaxial oxide ultrathin films and nanostructures by atomic layer deposition

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Revista:
Chemistry of Materials

ISSN: 0897-4756,  1520-5002

Año de publicación: 2012

Volumen: 24

Número: 19

Páginas: 3732-3737

Tipo: Artículo

DOI: 10.1021/CM301864C GOOGLE SCHOLAR
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