Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación

  1. Sánchez Losilla, Nuria
unter der Leitung von:
  1. Javier Martínez Doktorvater/Doktormutter

Universität der Verteidigung: Universidad Autónoma de Madrid

Fecha de defensa: 20 von Juli von 2010

Gericht:
  1. Concepción Rovira Angulo Präsident/in
  2. Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Sekretär/in
  3. Marta Tello Ruiz Vocal
  4. Montserrat Calleja Gómez Vocal
  5. Adriana Gil Gil Vocal
  6. David Mecerreyes Molero Vocal
  7. Francisco Javier Piqueras de Noriega Vocal

Art: Dissertation

Teseo: 298703 DIALNET

Zusammenfassung

Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación