Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación

  1. Sánchez Losilla, Nuria
Dirigée par:
  1. Javier Martínez Directeur/trice

Université de défendre: Universidad Autónoma de Madrid

Fecha de defensa: 20 juillet 2010

Jury:
  1. Concepción Rovira Angulo President
  2. Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secrétaire
  3. Marta Tello Ruiz Rapporteur
  4. Montserrat Calleja Gómez Rapporteur
  5. Adriana Gil Gil Rapporteur
  6. David Mecerreyes Molero Rapporteur
  7. Francisco Javier Piqueras de Noriega Rapporteur

Type: Thèses

Teseo: 298703 DIALNET

Résumé

Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación