Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación
- Sánchez Losilla, Nuria
- Javier Martínez Zuzendaria
Defentsa unibertsitatea: Universidad Autónoma de Madrid
Fecha de defensa: 2010(e)ko uztaila-(a)k 20
- Concepción Rovira Angulo Presidentea
- Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Idazkaria
- Marta Tello Ruiz Kidea
- Montserrat Calleja Gómez Kidea
- Adriana Gil Gil Kidea
- David Mecerreyes Molero Kidea
- Francisco Javier Piqueras de Noriega Kidea
Mota: Tesia
Laburpena
Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación