Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación

  1. Sánchez Losilla, Nuria
Zuzendaria:
  1. Javier Martínez Zuzendaria

Defentsa unibertsitatea: Universidad Autónoma de Madrid

Fecha de defensa: 2010(e)ko uztaila-(a)k 20

Epaimahaia:
  1. Concepción Rovira Angulo Presidentea
  2. Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Idazkaria
  3. Marta Tello Ruiz Kidea
  4. Montserrat Calleja Gómez Kidea
  5. Adriana Gil Gil Kidea
  6. David Mecerreyes Molero Kidea
  7. Francisco Javier Piqueras de Noriega Kidea

Mota: Tesia

Teseo: 298703 DIALNET

Laburpena

Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación