Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación

  1. Sánchez Losilla, Nuria
Dirixida por:
  1. Javier Martínez Director

Universidade de defensa: Universidad Autónoma de Madrid

Fecha de defensa: 20 de xullo de 2010

Tribunal:
  1. Concepción Rovira Angulo Presidente/a
  2. Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secretario/a
  3. Marta Tello Ruiz Vogal
  4. Montserrat Calleja Gómez Vogal
  5. Adriana Gil Gil Vogal
  6. David Mecerreyes Molero Vogal
  7. Francisco Javier Piqueras de Noriega Vogal

Tipo: Tese

Teseo: 298703 DIALNET

Resumo

Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación