Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación

  1. Sánchez Losilla, Nuria
Dirigida por:
  1. Javier Martínez Director/a

Universidad de defensa: Universidad Autónoma de Madrid

Fecha de defensa: 20 de julio de 2010

Tribunal:
  1. Concepción Rovira Angulo Presidente/a
  2. Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secretario/a
  3. Marta Tello Ruiz Vocal
  4. Montserrat Calleja Gómez Vocal
  5. Adriana Gil Gil Vocal
  6. David Mecerreyes Molero Vocal
  7. Francisco Javier Piqueras de Noriega Vocal

Tipo: Tesis

Teseo: 298703 DIALNET

Resumen

Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación