Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación

  1. Sánchez Losilla, Nuria
Supervised by:
  1. Javier Martínez Director

Defence university: Universidad Autónoma de Madrid

Fecha de defensa: 20 July 2010

Committee:
  1. Concepción Rovira Angulo Chair
  2. Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secretary
  3. Marta Tello Ruiz Committee member
  4. Montserrat Calleja Gómez Committee member
  5. Adriana Gil Gil Committee member
  6. David Mecerreyes Molero Committee member
  7. Francisco Javier Piqueras de Noriega Committee member

Type: Thesis

Teseo: 298703 DIALNET

Abstract

Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación