In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system
- Campanella, H.
- del Real, R.P.
- Duch, M.
- Serre, C.
- Lucas, I.
- De Manuel, V.
- Guerrero, H.
- Esteve, J.
- Díaz-Michelena, M.
- Plaza, J.A.
ISSN: 0924-4247
Año de publicación: 2010
Volumen: 159
Número: 1
Páginas: 33-40
Tipo: Artículo