In situ MEMS gradiometer with nanometer-resolution optical detection system

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Revista:
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ISSN: 0924-4247

Año de publicación: 2010

Volumen: 159

Número: 1

Páginas: 33-40

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SNA.2010.02.007 GOOGLE SCHOLAR
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