Electrical behavior of silicon nitride sputtered thin films

  1. Vila, M.
  2. Prieto, C.
  3. Ramírez, R.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 2004

Volum: 459

Número: 1-2

Pàgines: 195-199

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1016/J.TSF.2003.12.082 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus