Electrical behavior of silicon nitride sputtered thin films

  1. Vila, M.
  2. Prieto, C.
  3. Ramírez, R.
Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 459

Nummer: 1-2

Seiten: 195-199

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.TSF.2003.12.082 GOOGLE SCHOLAR
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