Electrical behavior of silicon nitride sputtered thin films

  1. Vila, M.
  2. Prieto, C.
  3. Ramírez, R.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 2004

Alea: 459

Zenbakia: 1-2

Orrialdeak: 195-199

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/J.TSF.2003.12.082 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus