Electrical behavior of silicon nitride sputtered thin films
- Vila, M.
- Prieto, C.
- Ramírez, R.
ISSN: 0040-6090
Ano de publicación: 2004
Volume: 459
Número: 1-2
Páxinas: 195-199
Tipo: Achega congreso
ISSN: 0040-6090
Ano de publicación: 2004
Volume: 459
Número: 1-2
Páxinas: 195-199
Tipo: Achega congreso