Electrical behavior of silicon nitride sputtered thin films
- Vila, M.
- Prieto, C.
- Ramírez, R.
ISSN: 0040-6090
Année de publication: 2004
Volumen: 459
Número: 1-2
Pages: 195-199
Type: Communication dans un congrès
ISSN: 0040-6090
Année de publication: 2004
Volumen: 459
Número: 1-2
Pages: 195-199
Type: Communication dans un congrès