Influence of the deposition parameters on the bonding and optical properties of SiNx ECR films

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Revista:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Año de publicación: 1995

Volumen: 187

Páginas: 329-333

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0022-3093(95)00159-X GOOGLE SCHOLAR

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