Growth of vacancy clusters during post-irradiation annealing of ion implanted silicon
- van Veen, A.
- Schut, H.
- Rivera, A.
- Fedorov, A.V.
Actes:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Any de publicació: 1996
Volum: 396
Pàgines: 155-160
Tipus: Aportació congrés