Growth of vacancy clusters during post-irradiation annealing of ion implanted silicon
- van Veen, A.
- Schut, H.
- Rivera, A.
- Fedorov, A.V.
ISSN: 0272-9172
Datum der Publikation: 1996
Ausgabe: 396
Seiten: 155-160
Art: Konferenz-Beitrag
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings