Growth of vacancy clusters during post-irradiation annealing of ion implanted silicon
- van Veen, A.
- Schut, H.
- Rivera, A.
- Fedorov, A.V.
Actas:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Ano de publicación: 1996
Volume: 396
Páxinas: 155-160
Tipo: Achega congreso