Growth of vacancy clusters during post-irradiation annealing of ion implanted silicon
- van Veen, A.
- Schut, H.
- Rivera, A.
- Fedorov, A.V.
ISSN: 0272-9172
Année de publication: 1996
Volumen: 396
Pages: 155-160
Type: Communication dans un congrès
ISSN: 0272-9172
Année de publication: 1996
Volumen: 396
Pages: 155-160
Type: Communication dans un congrès