Growth of vacancy clusters during post-irradiation annealing of ion implanted silicon
- van Veen, A.
- Schut, H.
- Rivera, A.
- Fedorov, A.V.
ISSN: 0272-9172
Año de publicación: 1996
Volumen: 396
Páginas: 155-160
Tipo: Aportación congreso
ISSN: 0272-9172
Año de publicación: 1996
Volumen: 396
Páginas: 155-160
Tipo: Aportación congreso