Growth of vacancy clusters during post-irradiation annealing of ion implanted silicon
- van Veen, A.
- Schut, H.
- Rivera, A.
- Fedorov, A.V.
Aktak:
Materials Research Society Symposium - Proceedings
ISSN: 0272-9172
Argitalpen urtea: 1996
Alea: 396
Orrialdeak: 155-160
Mota: Biltzar ekarpena