Nanolitografía de oxidación local en paralelo instrumento, cinética y nanofabricación
- Sánchez Losilla, Nuria
- Javier Martínez Director/a
Universidad de defensa: Universidad Autónoma de Madrid
Fecha de defensa: 20 de julio de 2010
- Concepción Rovira Angulo Presidente/a
- Eduardo Elizalde Pérez-Grueso Secretario/a
- Marta Tello Ruiz Vocal
- Montserrat Calleja Gómez Vocal
- Adriana Gil Gil Vocal
- David Mecerreyes Molero Vocal
- Francisco Javier Piqueras de Noriega Vocal
Tipo: Tesis
Resumen
Nanolitografía de oxidación local en paralelo: Instrumento, cinética y nanofabricación