Publicacions en què col·labora amb M.A. Fernández Fernández (9)

2005

  1. Oxygen to silicon ratio determination of SiOxHy thin films

    Thin Solid Films, Vol. 492, Núm. 1-2, pp. 232-235

1999

  1. Effect of substrate temperature in SiOxNy films deposited by electron cyclotron resonance

    Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, Vol. 17, Núm. 4, pp. 1263-1268

  2. Full composition range silicon oxynitride films deposited by ECR-PECVD at room temperature

    Thin Solid Films, Vol. 343-344, Núm. 1-2, pp. 437-440